氬氣回收、液化設(shè)備

　　本裝置是針對用戶生產(chǎn)過程中使用后的廢氬氣進行設(shè)計、研發(fā)，從而實現(xiàn)廢氬氣在整套裝置中進行回收、凈化、提純、液化。

　　整套裝置首先對廢氬氣進行輸送、收集，然后通過壓縮及緩沖系統(tǒng)使其具備一定的穩(wěn)定壓力，然后進入催化、凈化系統(tǒng)脫除廢氬氣中的部分雜質(zhì)（O2、CO2、H2O）；進入低溫精餾系統(tǒng)去除廢氬氣中的雜質(zhì)N2，同時經(jīng)精餾、液化得到產(chǎn)品液氬。