氦氣回收設(shè)備

　　原料氦氣進(jìn)入氦氣過濾器，過濾原料氣中的固體顆粒。過濾后的氦氣進(jìn)入緩沖罐，出緩沖罐后再進(jìn)入預(yù)冷機(jī)冷卻，然后進(jìn)入到脫水、脫碳吸附筒去除原料氣中水和二氧化碳，使原料氣得到進(jìn)一步凈化。

　　凈化后的原料氣再到低溫精餾系統(tǒng)中冷卻到一定溫度，再進(jìn)行精餾、分離。從低溫精餾系統(tǒng)出來的富氦氣進(jìn)入低溫吸附筒，去除其中的氮?dú)?、氬氣從而得到產(chǎn)品氦氣。

1.1. 系統(tǒng)優(yōu)點(diǎn)描述

　　? 工藝成熟，自動(dòng)化控制程度高。

　　? 系統(tǒng)抗干擾能力強(qiáng)，運(yùn)行穩(wěn)定。

　　? 產(chǎn)品氦氣純度高，純度≥99.999%。

　　? 系統(tǒng)能承受原料氣中雜質(zhì)波動(dòng)，在一定范圍內(nèi)波動(dòng)，系統(tǒng)可以連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行。